某半导体行业制造技术公司企业因晶圆清洁工作工艺流程制造含氨废液,容量200吨/天。废液中除化学需氧量外还包含氟化物和少量巨资属,加工难易度大。当地城市尾气排放原则符合要求化学需氧量<5mg/L,氟化物<3mg/L。
废液营养成分及来源于
晶圆清洁废渣(基本种类):含氧化还原电位200-300mg/L,氟化物50-80mg/L
刻蚀制作工序废水处理:含轻微铜、镍等血本属,pH值价格波动大
CMP磨细焦化废水:含硅小粒及氟化物
整理新工艺生产流程图
分为"有机化学沉淀出的+膜溶合+折点氯化"组合名字鑫霖环保:
预工作
:加药CaCl2除氟,调节pH在7.5-8.
超滤膜设计
:彻底清除0.01μm这小粒物
反浸入浓缩咖啡
:将氟化物萃取至1000mg/L以上内容
折点氯化
:精度操作氯加药系统量,将高锰酸盐指数转为为离氮气
阴离子传递
:保护天价属合格
从而郊果
挥发酚不稳定性<3mg/L,氟化物<1mg/L
高价属浓度远低于论文检测限
水回收利用率达75%
生活污水诞生量减轻40%